| মেশিন মডেল | এফএল-এল১২০২৫ | এফএল-এল১3025 | FL-L16030 |
| কার্যকরী এলাকা (মিমি) | ১২০০০*২৫০০ | ১৩০০০*২৫০০ | ১৬৫০০*৩২০০ |
| জেনারেটরের শক্তি | ৩০০০-২০০০০ ওয়াট | ||
| X/Y-অক্ষের অবস্থান নির্ভুলতা | ০.০২ মিমি/মি | ||
| X/Y-অক্ষ পুনঃস্থাপন নির্ভুলতা | ০.০৩ মিমি/মি | ||
| X/Y-অক্ষের সর্বোচ্চ লিঙ্কেজ গতি | ৮০মি/মিনিট | ||
| সর্বোচ্চ ত্বরণ | ১.২জি | ||
| বিদ্যুৎ সরবরাহ | থ্রি ফেজ ৩৮০ ভোল্ট/৫০ হার্টজ ৬০ হার্টজ | ||